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以曝光、显影、蚀刻等减成法工艺为基础制程的硅基微电子技术、覆铜电路板技术和大规模集成电路技术已经发展了50余年，集成电路加工的工艺越来越复杂，投资越来越大。集成电路工业已成为全球少数几个跨国企业所垄断...